Atelier réussi sur la technologie des surfaces atomiquement précises à Chemnitz | TUCactuel

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Les jeunes scientifiques profitent des échanges au sein du réseau d’innovation pour le traitement de la couche atomique ALPIN

Le troisième atelier de l’Innovation Network for Atomic Layer Processing (Atomic Layer Process Innovation Network – ALPIN) a eu lieu les 11 et 12 septembre 2023 à l’Université technologique de Chemnitz. Plus de 80 experts venus de toute l’Allemagne étaient sur place – un nouveau record pour ALPIN ! L’idée centrale des ateliers ALPIN est de constituer une offre à bas seuil pour les jeunes scientifiques en complément des conférences et ateliers parfois très coûteux des associations professionnelles internationales. L’accent est mis sur la présentation des recherches actuelles et sur la mise en réseau avec des scientifiques établis et des représentants de l’industrie. Pour que cela soit possible, nous avons réussi cette année encore à couvrir tous les coûts grâce au soutien de l’université et au parrainage d’entreprises spécialisées, de sorte qu’il n’y ait pas de frais de participation.

Le traitement des couches atomiques est une technologie de haute technologie qui permet d’appliquer ou de retirer de manière contrôlée des couches fonctionnelles de quelques couches atomiques seulement. Le traitement des couches atomiques est utilisé aussi bien dans la technologie des semi-conducteurs que, par exemple, en photonique et même dans le scellement de surfaces. Cette fois aussi, la variété des contributions spécialisées sous forme d’affiches ou de conférences était également large, avec lesquelles de nouveaux matériaux, processus et applications du traitement de la couche atomique étaient présentés lors de l’atelier.

D’un point de vue mondial, l’Allemagne et surtout la Saxe sont l’un des sites de recherche les plus importants pour le traitement des couches atomiques. De nombreux participants provenaient donc d’instituts de recherche saxons. Les hôtes de l’Université technologique de Chemnitz et de l’Institut Fraunhofer pour les nanosystèmes électroniques ENAS étaient présents avec quatre groupes de travail. L’équipe de simulation du Centre de microtechnologies de l’Université technologique de Chemnitz (Linda Jäckel, Dr Xiao Hu, Dr Jörg Schuster) a présenté les travaux en cours sur la modélisation de la gravure atomique précise des matériaux de la technologie semi-conductrice. Des simulations chimiques quantiques sur des ordinateurs hautes performances sont utilisées pour examiner de nombreux matériaux possibles et identifier des candidats prometteurs pour des tests expérimentaux. L’équipe technologique de l’ENAS (Dr Lysann Kaßner et Mathias Franz) a présenté les résultats actuels sur le dépôt de couches atomiques de cobalt métallique. Deux groupes de travail de l’Institut de chimie de l’Université technologique de Chemnitz ont participé à des recherches sur le revêtement des fibres de carbone avec du phosphate de titane (Martin Klapper et Prof. Dr. Werner Goedel, chimie physique) et à la synthèse de nouveaux précurseurs comme matières premières pour traitement de la couche atomique (Prof. Dr. Robert Kretschmer, Chimie inorganique) sur place chez ALPIN.

Liens vers les publications actuelles des chercheurs de Chemnitz dans des revues spécialisées :

Xiao Hu, Jörg Schuster, Mécanisme chimique de gravure d’AlF3 pendant l’exposition à AlMe3 : une étude thermodynamique et DFT, J. Phys. Chimique. C 2022, 126, 17, 7410-7420

Oleksandr Kysliak, Simon HF Schreiner, Niklas Grabicki, Phil Liebing, Florian Weigend, Oliver Dumele, Robert Kretschmer, Un anneau aromatique planaire à cinq membres stabilisé par seulement deux électrons π, Angew. Chimie Int. Éd. 2022

Pauline Dill, Xiang Ren, Helen Hintersatz, Mathias Franz, Doreen Dentel, Christoph Tegenkamp, ​​Susann Ebert, Dépôt de couche atomique de phosphate de titane sur des fibres de renforcement utilisant du tétrachlorure de titane, de l’eau et du phosphate de tris (triméthylsilyle) comme précurseurs. Journal de la science et de la technologie du vide UN 2022, 40 (2), 022403.

(Auteur : Dr Jörg Schuster)

Mario Steinebach
12.09.2023

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Remarque : l’Université technologique de Chemnitz est présente dans de nombreux médias. La revue des médias donne une idée de la façon dont ils rendent compte de l’université.