Technologie innovante de vannes série E chez Semicon Europa

Les trois sociétés du groupe Busch – Busch Vacuum Solutions, Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions et centrotherm clean solutions – ont présenté ensemble leurs solutions au salon Semicon Europa 2024 à Munich.

Les visiteurs de Semicon Europa ont pu discuter avec des experts du groupe Busch sur les pompes à vide, les détecteurs de fuites, les systèmes de réduction des gaz et les vannes.

Les pompes à vide turbomoléculaires HiPace 3400 IT de Pfeiffer Vacuum ont été spécialement développées pour les applications difficiles d’implantation ionique et sont les turbopompes les plus compactes de leur catégorie. Les TORRI BD 0100/0600 de Busch Vacuum Solutions sont des pompes à vide à lobes rotatifs multi-étagés sans huile. Ils offrent des temps de pompage courts pour les sas de chargement et se caractérisent par leur petite taille, leur légèreté et leur efficacité énergétique. La technologie de réduction des gaz thermiques de centrotherm clean solutions combine les avantages de la combustion avec le traitement des gaz d’échappement par chauffage électrique, offrant ainsi une solution durable avec une empreinte CO2 minimale pour les processus de CVD et de gravure des métaux.

Le point culminant du salon a été la présentation de la nouvelle série de produits E de Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions. Ces vannes d’angle électriques pour applications à vide poussé établissent une norme industrielle avec un contrôle, une efficacité énergétique, une fiabilité et des économies significatives supérieurs. La série E propose un système d’actionnement électrique premier de sa catégorie, conçu pour la précision et les performances robustes. Il dispose d’un mécanisme de sécurité pour maintenir la sécurité en cas de panne de courant et d’un mode local pour un fonctionnement manuel pendant la maintenance. Cela réduit les contraintes mécaniques et garantit des performances constantes et sûres.

Les vannes sont fiables pour les réglages critiques, allant de 10-3 à 10-9 mbar. Son actionnement électrique efficace de 24 V CC et son joint en élastomère robuste garantissent des performances élevées. Conçue pour une intégration facile, la structure à angle droit améliore la compatibilité du système et la convivialité.

Le groupe Busch est l’un des plus grands fabricants mondiaux de pompes à vide, de systèmes de vide, de soufflantes, de compresseurs et de systèmes de réduction des gaz. Sous son égide, le groupe abrite trois marques renommées : Busch Vacuum Solutions, Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions et centrotherm clean solutions.

Le vaste portefeuille de produits et de services comprend des solutions pour les applications de vide, de surpression et de réduction dans tous les secteurs, tels que l’alimentation, les semi-conducteurs, l’analyse, la chimie et le plastique. Cela comprend également la conception et la construction de systèmes de vide sur mesure et un réseau de service mondial.

Le groupe Busch est une entreprise familiale dirigée par la famille Busch. Plus de 8 000 collaborateurs répartis dans 44 pays à travers le monde travaillent pour le groupe. Busch a son siège à Maulburg, dans le Bade-Wurtemberg, dans la région regroupant l’Allemagne, la France et la Suisse.

Le groupe Busch fabrique dans ses 19 propres usines de production en Chine, en République tchèque, en France, en Allemagne, en Inde, en Roumanie, en Corée du Sud, en Suisse, au Royaume-Uni, aux États-Unis et au Vietnam.

Le groupe Busch réalise un chiffre d’affaires annuel consolidé de près de 2 milliards d’euros.

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